Filtro modular ecológico que puede controlar eficazmente AMC y reducir el impacto de carbono en las fábricas de semiconductoresEn el camino hacia la inteligencia, muchas fábricas de semiconductores comenzaron a descubrir la presencia de microcontaminantes invisibles a simple vista en el medio ambiente, suspendidos en el aire, lo que causó un gran daño al producto, pero los métodos tradicionales de filtración como los filtros de aire de partículas de alta eficiencia o los filtros de aire de partículas súper grandes son difíciles de eliminar eficazmente. Por lo tanto, es necesario establecer un mecanismo de control inteligente en la planta para resolver el problema de AMC (contaminación molecular del aire).
Según los expertos técnicos de Pratt & whitney, con el desarrollo de procesos avanzados de semiconductores, el polvo suspendido en el aire se puede controlar eficazmente a través de métodos tradicionales de filtración. Sin embargo, otros microcontaminantes orgánicos o inorgánicos tienen un impacto mucho mayor en la producción del proceso que en el polvo. En otras palabras, la tecnología de control de microcontaminación AMC de alto rendimiento es uno de los elementos clave para que los principales fabricantes de semiconductores desarrollen procesos avanzados de 5 nanómetros.
El AMC se divide principalmente en ácido ma, sal mb, condensación MC y dopaje md, y h ₂ Oh ₂、 Oh ₃ Y otras sustancias no clasificables. Estos contaminantes molec